真空电磁阀(真空机电磁阀坏了会怎样)

真空等离子清洗机气路控制有这么多知识？

真空等离子清洗机的工艺气体是工艺参数的重要组成部分，其流量和精度对等离子处理有很大影响。那么真空等离子清洗机如何实现各功能气路的控制和工艺气体的稳定呢？今天，我们将介绍真空等离子清洗机气体回路控制各部件的功能和基本原理，供大家参考。

1 真空等离子清洗机气路控制部分的主要组件

1-1气体压力调节和处理部件

引入真空等离子清洗机的气体通常是洁净度相对较高的工艺气体，因此气体压力调节和处理部件的基本结构大多由压力调节阀和过滤器组成。其主要功能是将气压控制在要求的压力范围内，过滤气体中可能存在的杂质，以保证后端流量计等部件的运行稳定性和气体清洁度。目前，真空等离子清洗机常用的气体压力调节和加工部件根据其结构特点分为组合式和集成式两种。下图显示了组合类型。

带报警输出的1-2减压表

为了实时监控等离子清洗机的气体压力是否满足工作要求，在气体压力调节阀上安装具有报警输出功能的压力表，当压力过低时会输出报警信号，以保证设备的正常运行和工艺气体的稳定。带报警输出的减压表可分为指针式和数字显示式，如下图所示。

1-3真空电磁阀

真空等离子清洗机在工作过程中需要保持工艺要求的真空度和真空室的密封，因此连接真空室的各气路阀门必须满足真空密封的要求，并应选择与气路控制相匹配的真空电磁阀。为了保证真空等离子清洗机的运行稳定性，所有的真空电磁阀控制一个气路，选择的真空电磁阀为两位双向式，如下图所示。

1-4流量计

真空等离子清洗机的进气口由流量计控制，其原理是通过调节阀门的大小来控制流量。等离子清洗机中使用的流量计分为两种：气体浮子流量计和质量流量控制器(MFC)。

气浮流量计通过手动调节开启阀门的大小来实现气体流量控制。阀门开启后，会受到气体压力变化、振动等因素的影响，导致实际气体流量浮动范围大，不适用于对工艺气体流量要求严格的等离子清洗机。

一般情况下，质量控制器会自动精确地测量和控制工艺气体的质量流量，以确保真空离子清洗机处理过程的稳定性。对于一些腐蚀性气体或其他特殊气体也可以实现精确控制。

2 真空等离子清洗机的气路控制布局及特点

2-1公共气路控制布局

真空等离子清洗机的常规气体回路通常包括两个工艺气体控制，一个鼓风气体控制和一个压缩空气(CDA)控制。

常见布局如下图所示：

2-2各气体路径的成分和特性

压缩空气控制部分只需要气体高压、过滤器、带输出报警的压力表全套部件，不需要其他部件。由于CDA是一些部件的动力气体，所以只需要在气体压力不足时提供报警服务。

(2)断气部分是在CDA控制气路的基础上增加一个大口径真空电磁阀，为工艺运行后的真空腔提供断气输入服务。由于真空断路气体通常是高度清洁的气体，所以在一些真空断路气路中不安装过滤器，如下图所示。

工艺气体通常是高度清洁的，过滤器通常是可选部件。工艺气体控制部分主要包括调压阀、过滤器、带报警输出的报警表、真空电磁阀和质量控制器。通常配置两路工艺气体，也可根据需要配置多路。

3 真空等离子清洗机的气体各控制组件及进气顺序如下：

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