共板法兰风管(排烟风管可以用共板法兰吗)

上海净化车间装修：半导体净化车间设计方案分享(一)

半导体净化车间设计的设计范围包括：装修方案(围护结构、地面防水保温处理)、暖通方案(空调设备、风道、水管等)。)、特殊供气方案(特殊气柜包括保险控制、室内气体监测、EP级管道、BA级管道、供气管道尾气处理)、压缩空气方案、废气处理方案(仪器设备POU处理、室内废气处理)、电气方案(空调设备)

一、结构围护工程

墙板和吊顶：本工程隔墙采用0.426玻璃镁岩棉夹芯板，带企口机构。玻璃镁岩棉彩色钢板符合洁净厂房二级防火要求。玻璃镁岩棉彩钢夹芯板在1000下具有耐火性，耐火等级达到甲级.岩棉密度：1000kg/m；导热系数：0.046 w/m . k；燃烧性能：a级(不燃性)。耐火时间30~120分钟。广泛应用于食品、电子、医药、饮料、生物研究等行业。

地板：车间采用防静电PVC地板，其中1级、100级车间采用防静电框架高钢板，其他为普通PVC地板。聚氯乙烯地板是当今世界上非常流行的一种新型轻质地板装饰材料。又称“轻质地板材料”，用途广泛，如家庭、医院、学校、写字楼、工厂、公共场所、超市、商业等场所。

二、暖通工程

设备：空调冷负荷：据统计，总冷负荷约500KW。采用恒温恒湿洁净空调，夏季采用磁悬浮水冷机组，冬季采用工厂锅炉热水供热。

风管：风管采用普通平板法兰风管。

水管：空调水管采用无缝钢管。该泵通过星形-三角形降压启动。

三.特种气体工程

高纯度的工艺气体种类繁多，易燃、易爆、有毒。安全问题突出。为了保证系统的安全性、稳定性和可靠性，建议采用进口成熟产品。

由于MOCVD生长所用的源是易燃、易爆、有毒物质，需要生长多组分、大面积、薄层、超薄层的异质材料，所以在MOCVD系统的设计思路中，通常认为系统应具有良好的密封性能、准确的流量和温度控制、快速的组分转化和紧凑的系统等。核心工作是气体输送系统和尾气处理系统。

四.空气压缩气体工程

螺杆式空气压缩机组主要由以下系统组成：空气流动系统、润滑油流动系统、冷却系统、安全保护系统、控制系统和电路。螺杆式空气压缩机组主要包括压缩机、电机、空气过滤器、进气阀、油气桶、空气冷却器、润滑油冷却器压力开关、单向阀、储气罐、压力表、自动排水器、安全阀等设备部件。此外，大多数空气压缩机系统都配有冷干燥器和空气干燥器。

动词（verb的缩写）废气工程

由于半导体工艺中手术室的洁净度非常高，通常使用风扇来提取工艺中的各种挥发性废气，因此半导体行业的废气排放具有排放量大、排放浓度小的特点。废气排放主要是挥发性的。不同生产工艺排放的废气成分见表。这些废气排放可分为四类：酸性气体、碱性气体、有机废气和有毒气体。

生产废气排放源及成分表

废气来源组成外延工艺SiH4、SiHCl3、Si2Cl 2、SiCl4、AsH3、B2H6、PH3、HCl、H2清洗工艺H2SO4、H2O2、HNO3、HCl、HF、H3PO4、NH4F、NH4OH等光刻工艺异丙醇、醋酸丁酯、甲苯、Cl2、BCl3、C2F6、C3F8、NH4OH、NH4Cl、NH3、KOH等化学机械抛光和CF4、SF6、HF、HCl、NO、C3H8、HBr、H2S等有机酸盐，化学气相沉积SiH，湿式洗涤器技术一般用于处理酸性气体和碱性气体。

有机废气通过吸附、焚烧或它们的组合来处理。由于半导体工艺中的有机废气具有排放流量大(通常大于m3/h)和浓度低(通常小于25ppmv)的特点，采用其他处理技术很难达到令人满意的处理效率。沸石在转轮中浓缩，然后被吸附或焚烧。

以上是关于半导体提纯车间设计方案的工程分享。希望今天的分享对你有帮助。在接下来的分享中，SAREN会给大家详细讲解电气工程、弱电系统工程、智能平台、纯水工程、污水处理工程。